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日本進口渦輪分子泵 UTM?B系列 移動式 愛發(fā)科
產(chǎn)品型號：UTM?B
產(chǎn)品品牌：日本愛發(fā)科ulvac
產(chǎn)品簡介：
采用陶瓷球軸承的復(fù)合渦輪分子泵，具有優(yōu)異的壓縮比。采用集成控制器設(shè)計，結(jié)構(gòu)緊湊。優(yōu)異的高背壓性能允許使用較小的前級泵。
特征
自由安裝安裝方向不受限制由于安裝方向自由，因此
系統(tǒng)設(shè)計的自由度較高。
板載控制器
集成控制器能夠減少線路工作并縮小泵送系統(tǒng)的尺寸。
高壓縮比和高背壓
高壓縮比使得泵可以在高背壓下運行并縮小其
前級泵的尺寸。
三種法蘭
進氣口法蘭可從ISO-K、ICF、VG中選擇。
清潔的真空環(huán)境
泵運行和停止時碳氫化合物氣體的回流更少。
低噪音
無負載時噪音水平≤48dB（配ISO63-K法蘭）
應(yīng)用
分析設(shè)備、研發(fā)系統(tǒng)、實驗裝置等的主泵系統(tǒng)。
蒸發(fā)器、濺射系統(tǒng)等的主泵送系統(tǒng)。
主泵系統(tǒng)抽空 H2、He 等低分子氣體
日本進口渦輪分子泵 UTM?B系列 移動式 愛發(fā)科
冷卻方式自然
風(fēng)冷強制
風(fēng)冷自然
風(fēng)冷強制
風(fēng)冷法蘭尺寸入口
*1VG65、ICF114、ISO063-KVG100、ICF152、ISO100-K出口KF16KF16抽氣速度
（不帶
防護網(wǎng)）氮氣70 升/秒280 升/秒他60 升/秒270 升/秒氫氣49 升/秒220 升/秒極限
壓力
*2烘烤后- *310 -8帕斯卡- *310 -8帕斯卡烘烤前10 -6帕斯卡10 -6帕斯卡10 -6帕斯卡壓縮率氮氣：
>1×10 9，氦氣：4×10 7，氫氣：4×10 5氮氣：
>1×10 9，氦氣：7×10 6 ，氫氣：1×10 5
入口壓力
*4, *5, *6氮氣0.43帕斯卡1.1帕斯卡0.06帕斯卡0.7帕斯卡
出口壓力
*4, *5, *7氮氣300帕900帕100帕1000帕連續(xù)
運行
流量*8無需
氣體吹掃氮氣15標準立方厘米*940標準立方厘米*910標準立方厘米*10100標準立方厘米*10無需
氣體吹掃應(yīng)收賬-10標準立方厘米*9-30標準立方厘米*10帶
氣體吹掃-15標準立方厘米*9-40標準立方厘米*10推薦使用前級泵
（抽真空 10SCCM 時）
*11>60升/分鐘>120升/分鐘重量VG：3.3公斤, ISF：3.0公斤, ISO：5.0公斤6.0公斤 / 9.0公斤6.3公斤 / 9.3公斤旋轉(zhuǎn)速度87000轉(zhuǎn)60000轉(zhuǎn)啟動時間（80%）
(DC24V.背壓5Pa以下）1.7 分鐘3.5 分鐘表面處理*12沒有任何安裝方向自由方向噪音 *13<48分貝(聲級)<50分貝(聲級)控制器輸入電源DC24V±5%, 120WDC24V±5%, 180W接點輸入
輸出信號遠程（D-sub 15 針公頭）
數(shù)字輸入：4 點。輸出：4 點。模擬輸出：1 點。串行通信RS-485（D-sub 15 針公頭，與 REMOTE 共享）LED顯示屏電源、正常、報警轉(zhuǎn)變開始/停止、重置可變旋轉(zhuǎn)頻率/速度運行轉(zhuǎn)速數(shù)
可在
泵規(guī)格的 25% 至 之間以 0.1% 的步長進行更改。異常操作
檢測檢測報警、警告。保護電路表示報警、警告。標準配件使用說明書(CD-R)、防護網(wǎng)(僅VG和ICF，
墊圈內(nèi)置有ISO法蘭防護網(wǎng))、
墊圈(入口法蘭)、防塵蓋(用于入口、出口和連接器)適用標準CE、TUVus
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