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日本ulvac渦輪分子泵 UTM-MS系列 測雨儀 愛發科
產品型號：UTM-MS
產品品牌：日本愛發科ulvac
產品簡介：
這是使用磁力軸承的帶獨立控制器的渦輪分子泵。我們擁有排氣速度為 300 至 4000 L/s 的多種型號。控制器單元可監控運行狀態并支持各種通信標準。
特征
泵體與控制器分離，
控制器可監控運行狀態，支持多種通訊標準。
自由安裝方向
自由安裝方向使系統設計更加靈活。
抽速300L/s～4000L/s級產品陣容
泵旋轉角度可在 25% 至 100% 之間調節，
通過改變旋轉速度可以調節腔內的壓力。
高耐久性、安全性
通過了空氣沖入試驗、接地試驗等安全確認試驗。
日本ulvac渦輪分子泵 UTM-MS系列 測雨儀 愛發科
主要設備真空抽氣系統 用于不產生副反應產物的輕工藝過程的主真空抽氣系統。 一般用于高真空抽氣系統。日本ulvac渦輪分子泵 UTM-MS系列 測雨儀 愛發科
應用
- 半導體設備
- 蒸發器，濺射系統
- 分析設備，實驗裝置等。
表格1 *1：表示位數。 表 2 *1：表示位數。規格
模型 UTM300A-MS UTM400A-MS UTM800A-MS UTM1000A-MS 進氣口 VG100 / ICF152 VG150 / ICF203 VG200 / ICF253 出水口 KF25 KF40 冷卻方式 水冷 空氣
冷卻水冷 空氣
冷卻水冷 空氣
冷卻水冷 空氣
冷卻極限壓力*1 帕 10 -7 10 -8 抽氣速度*2 氮氣 升/秒 320 420 800 1080 應收賬 升/秒 ー 他 升/秒 340 360 800 930 氫氣 升/秒 320 340 700 790 壓縮率 氮氣 1×10 9 他 8× 104 氫氣 1× 104 4×10 3 入口壓力*3 帕 200 1.3 200 1.3 400 1.3 400 1.3 出口壓力*3 帕 400 40 400 40 665 40 665 40 旋轉速度 轉速 45000 35000 啟動時間 5分鐘或更短 安裝位置 朝任意方向 表面處理 鍍鎳 冷卻水 流速 升/分鐘 1～3 ー 1～3 ー 1～3 ー 1～3 ー 壓力 壓力 02～0.5 ー 02～0.5 ー 02～0.5 ー 02～0.5 ー 噪音 分貝(聲級) 60 重量 公斤 14 33 三十二 推薦前級泵 200L/略多 500L/略多 控制器 作品 分離型 輸入電功率 單相AC200?240V±10％（50/60Hz±2Hz） 功率 0.55 1.0 速度變化 轉速在額定轉速的25%~之間可調（設定為0.1%） 溝通 接觸 串口：RS-232C / RS-485 重量 公斤 8
*2：無防護網。
*3：入口壓力和出口壓力不能同時滿足。模型 UTM1300A-MS UTM1500A-MS UTM2400A-MS UTM3400A-MS UTM4300A-MS 進氣口 VG200 / ICF253 VG250 VG300 / VG350 VG350 出水口 KF40 冷卻方式 水冷 極限壓力*1 帕 10 -7 抽氣速度*2 氮氣 升/秒 1300 1500 2100 3200 4400 應收賬 升/秒 ー 2000 3100 4200 他 升/秒 1050 1200 2240 3100 ー 氫氣 升/秒 750 800 1770 2200 2600 壓縮率 氮氣 6×10 8 1×10 9 他 1× 104 7×10 4 1×10 5 3× 104 氫氣 1× 103 3×10 3 6×10 3 2× 103 入口壓力*3 帕 133 40 出口壓力*3 帕 270 270 旋轉速度 轉速 30300 27000 27600 24000 啟動時間 7分鐘或更短 11分鐘或更短 12分鐘或更短 18分鐘或更短 安裝位置 朝任意方向 表面處理 鍍鎳 冷卻水 流速 升/分鐘 1～3 2～4 壓力 壓力 02～0.5 噪音 分貝(聲級) 60 57 60 重量 公斤 三十九 四十二 70 84 105 推薦前級泵 600L/略多 1300L/略多 1500L/略多 控制器 作品 分離型 輸入電功率 單相AC200?240V±10％（50/60Hz±2Hz） 功率 1.0 1.5 速度變化 轉速在額定轉速的25%~之間可調（設定為0.1%） 溝通 接觸 串口：RS-232C / RS-485 重量 公斤 8
*2：無防護網。
*3：入口壓力和出口壓力不能同時滿足。
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