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ulvac日本低溫泵 CRYO-U 系列 CRYO-U20H 愛發科
產品型號:CRYO-U20H
產品品牌:日本愛發科ulvac
產品簡介: CRYO-U系列是使用2級GM制冷機的低溫泵,可進行高真空排??氣。 根據FPD、半導體、電子設備、光學、研發等用途,有從小型到大型的多種產品可供選擇。

ulvac日本低溫泵 CRYO-U 系列 CRYO-U20H 愛發科

規格

抽速(20℃)升/秒10,000
18,000
氬氣8,400
29,000
極限壓力帕(托)10 -7 (10 -9 )
流量氬氣帕?升/秒(托?升/秒)1.7×10 3 (12.8)
5.0×10 2 (3.7)
泵送能力氬氣帕?升(托?升)5.8×10 8 (4.4×10 6 )
4.6×106  3.4× 104
冷卻時間
(電源循環)
小值(Hz)160/140(50/60)
安裝法蘭UVG-500,20 B ANSI,ISO-500
壓縮機組C30PVRT
重量公斤72.0


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