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愛發(fā)科日本CRYO-U16 進口低溫泵 CRYO-U 系列
產(chǎn)品型號：CRYO-U16
產(chǎn)品品牌：日本愛發(fā)科ulvac
產(chǎn)品簡介： CRYO-U系列是使用2級GM制冷機的低溫泵，可進行高真空排??氣。 根據(jù)FPD、半導體、電子設備、光學、研發(fā)等用途，有從小型到大型的多種產(chǎn)品可供選擇。 特征適用于中、大型設備。適用于批量型大型沉積系統(tǒng)。耐熱負荷。

愛發(fā)科日本CRYO-U16 進口低溫泵 CRYO-U 系列

抽氣速度(20℃)氮升/秒5,000
氫10,000
氬氣4,200
水16,000
極限壓力帕(托)10 -7 (10 -9 )
流速氬氣帕?升/秒(托?升/秒)1.4×10 3 (11.0)
氫4.1×102 （ 3.1）
泵送能力氬氣帕?升(托?升)4.3×10 8 (3.3×10 6 )
氫2.4×106 （ 1.8× 104）
冷卻時間
（電源循環(huán)）		小值(Hz)110/100(50/60)
安裝法蘭UVG-400
壓縮機組C30VRT
重量公斤61.0


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