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日本低溫泵 CRYO-U 系列 CRYO-U12HSP 愛發(fā)科
產(chǎn)品型號：CRYO-U12HSP
產(chǎn)品品牌：日本愛發(fā)科ulvac
產(chǎn)品簡介： CRYO-U系列是使用2級GM制冷機的低溫泵，可進行高真空排??氣。 根據(jù)FPD、半導(dǎo)體、電子設(shè)備、光學(xué)、研發(fā)等用途，有從小型到大型的多種產(chǎn)品可供選擇。 特征 氬氣的抽真空能力約為標(biāo)準(zhǔn)型號（U12H）的兩倍。 氫氣排氣量約為標(biāo)準(zhǔn)型號（U12H）的1.5倍。 播放間隔變得更長，有助于提高設(shè)備的可用性。

日本低溫泵 CRYO-U 系列 CRYO-U12HSP 愛發(fā)科

抽速(20℃)氮升/秒4,100
氫6,000
氬氣3,400
水9,500
極限壓力帕(托)10 -7 (10 -9 )
流速氬氣帕?升/秒(托?升/秒)2.0×10 3 (15.0)
氫4.1×102 （ 3.1）
泵送能力氬氣帕?升(托?升)4.4×10 8 (3.3×10 6 )
氫1.6×10 6 (1.2×10 4 )
冷卻時間
（電源循環(huán)）		小值(Hz)90/80(50/60)
安裝法蘭UVG-300,10 B美國標(biāo)準(zhǔn)
壓縮機組C30VRT
重量公斤四十二

*維護間隔：16,000小時
可移動底座為選配


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