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日本螺桿式干式真空泵 MS系列 多發(fā)性硬化癥MS120A
產(chǎn)品型號：MS120A
產(chǎn)品品牌：日本愛發(fā)科ulvac
產(chǎn)品簡介：
MS系列真空泵屬于螺桿式干式真空泵。這是一款耐過程干式真空泵，在傳統(tǒng)LS 系列的基礎(chǔ)上改進了耐腐蝕性和粉末排放性能。設(shè)計用于涉及腐蝕性氣體或粉末抽真空的真空工藝。
特征
對轉(zhuǎn)子軸、筒體等主要部件進行特殊的表面處理，具有較高的耐腐蝕性。
ULVAC 獨特的螺桿式轉(zhuǎn)子軸設(shè)計實現(xiàn)了高粉末排出性能。
可在從大氣壓到極限壓力的整個壓力范圍內(nèi)連續(xù)運行。
目的
電子零件、半導(dǎo)體制造設(shè)備用真空排氣系統(tǒng)
蝕刻設(shè)備、灰化設(shè)備、等離子清洗設(shè)備等
真空熱處理爐、真空抽氣系統(tǒng)
燒結(jié)爐、滲碳爐等。
鋰電池制造設(shè)備真空排氣系統(tǒng)
電極干燥設(shè)備、消泡設(shè)備、注液設(shè)備等
醫(yī)療及食品相關(guān)設(shè)備真空排氣冷凍干燥設(shè)備
、真空干燥設(shè)備等。
*MS1200A 可單獨購買，并添加控制板和傳感器。請聯(lián)系我們。
日本螺桿式干式真空泵 MS系列 多發(fā)性硬化癥MS120A
| 模型 | MS120A | MS600A | MS1200A | |
| 抽速*1 | 立方米/小時 | 115 | 第560章 | 980 |
| 極限壓力 | 帕 | ≤0.6 | ≤0.1 | |
| 電源電壓 | 三相，50/60Hz，AC200-240V±10%或三相，50/60Hz，AC380-480V±10% | |||
| 大約功耗*2 | 千瓦 | 2.4 | 3.1 | 3.1 |
| 冷卻水量 | 升/分鐘 | >4.0 | ||
| 吹掃氣體量*1 | 可持續(xù)發(fā)展管理 | 0~50 | ||
| 水蒸氣處理量 *1*3 | 公斤/小時 | 1.5 | ||
| 噪音值*2 | 分貝(A) | 61 | 62 | 64 |
| 進氣口 | KF50（臥式）/VG50（立式） | ISO-F-80 | ISO-F-100 | |
| 排氣口 | KF40 | |||
| 質(zhì)量*4 | 公斤 | 139 | 第241章 | 264 |
| 兼容標(biāo)準(zhǔn) | CE、cTUVus | |||
| 標(biāo)準(zhǔn)配件 | 快速說明書、電源連接器、防水線夾、信號連接器、電源連接器護罩、專用消音器1套 | |||
| 車身選項 | 電源電壓：200V級或400V級 密封材料：氟橡膠（FKM）或全氟橡膠（FFKM） | |||
| 外部選項 | 底盤排氣口、防震夾具、LR兼容單元（進氣口、信號）、吹掃氣閥 | |||
*1：典型值
*2：極限壓力
*3：使用吹掃氣體時的水蒸氣處理量。
*4: 包括消音器
排氣速度曲線
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