服務熱線
400-850-5208
日本進口ulvac渦輪分子泵 UTM-MS系列
產品型號：UTM-MS
產品品牌：日本愛發科ulvac
產品簡介：
這是帶有使用磁力軸承的獨立控制器的渦輪分子泵。我們擁有一系列抽速為 300 至 4000L/s 的型號。控制器部分可以監控運行狀態并兼容各種通信標準。特征泵體和控制器是分開的，控制器可以監控運行狀態，并兼容各種通信標準。自由安裝方向由于安裝方向沒有限制，因此設備設計的自由度增加。產品陣容包括抽速 300L/s 至 4000L/s泵轉速可在25%至100%范圍內變化，腔室壓力可調節。高耐用性和安全性通過了各種安全確認測試，包括大氣進入測試和著陸測試。目的各種設備的真空主排氣系統半導體制造設備氣相沉積設備濺射設備分析設備、實驗設備等研發設備不產生副反應產物的輕工藝主排氣系統其他一般高真空排氣應用
日本進口ulvac渦輪分子泵 UTM-MS系列
| 模型 | UTM300A-MS | UTM400A-MS | UTM800A-MS | UTM1000A-MS | ||||||
| 進氣口 | VG100/ICF152 | VG150/ICF203 | VG200/ICF253 | |||||||
| 排氣口 | KF25 | KF40 | ||||||||
| 冷卻方式 | 水冷 | 風冷 | 水冷 | 風冷 | 水冷 | 風冷 | 水冷 | 風冷 | ||
| 極限壓力*1 | 帕 | 10 -7 | 10 -8 | |||||||
| 排氣速度*2 | 氮氣 | 升/秒 | 320 | 第420章 | 800 | 1080 | ||||
| 氬氣 | 升/秒 | - | ||||||||
| 他 | 升/秒 | 340 | 360 | 800 | 930 | |||||
| 氫2 | 升/秒 | 320 | 340 | 700 | 第790章 | |||||
| 壓縮率 | 氮氣 | 1×10 9 | ||||||||
| 他 | 8×10 4 | |||||||||
| 氫2 | 1×10 4 | 4× 103 | ||||||||
| 入口壓力*3 | 帕 | 200 | 1.3 | 200 | 1.3 | 400 | 1.3 | 400 | 1.3 | |
| 排氣口壓力*3 | 帕 | 400 | 40 | 400 | 40 | 第665章 | 40 | 第665章 | 40 | |
| 轉數 | 轉速 | 45000 | 35000 | |||||||
| 啟動時間 | 5分鐘內 | |||||||||
| 安裝方向 | 可全方位安裝 | |||||||||
| 表面處理 | 鍍鎳 | |||||||||
| 冷卻水 | 流量 | 升/分鐘 | 1～3 | - | 1～3 | - | 1～3 | - | 1～3 | - |
| 水壓力 | 兆帕G | 02～0.5 | - | 02～0.5 | - | 02～0.5 | - | 02～0.5 | - | |
| 噪音 | 分貝(A) | 60 | ||||||||
| 大量的 | 公斤 | 14 | 33 | 32 | ||||||
| 推薦輔助泵 | 200L/分鐘以上 | 500L/min以上 | ||||||||
| 控制器 | 作品 | 單獨放置 | ||||||||
| 輸入功率 | 單相AC200～240V±10%（50/60Hz±2Hz） | |||||||||
| 所需功率 | 千伏安 | 0.55 | 1.0 | |||||||
| 變速功能 | 運行速度可在泵速度的 25% 至 之間變化（以 0.1% 增量設置） | |||||||||
| 外部控制 | 接點輸入/輸出 | |||||||||
| RS-232C/RS-485 | ||||||||||
| 大量的 | 公斤 | 8 | ||||||||
*1：表示順序。
*2：不含保護網的值。
*3：進氣口壓力和排氣口壓力條件不能同時滿足。
表2
| 模型 | UTM1300A-MS | UTM1500A-MS | UTM2400A-MS | UTM3400A-MS | UTM4300A-MS | ||
| 進氣口 | VG200/ICF253 | VG250 | VG300 / VG350 | VG350 | |||
| 排氣口 | KF40 | ||||||
| 冷卻方式 | 水冷 | ||||||
| 極限壓力*1 | 帕 | 10 -7 | |||||
| 排氣速度*2 | 氮氣 | 升/秒 | 1300 | 1500 | 2100 | 3200 | 4400 |
| 氬氣 | 升/秒 | - | 2000年 | 3100 | 4200 | ||
| 他 | 升/秒 | 1050 | 1200 | 2240 | 3100 | - | |
| 氫2 | 升/秒 | 750 | 800 | 1770 | 2200 | 2600 | |
| 壓縮率 | 氮氣 | 6×10 8 | 1×10 9 | ||||
| 他 | 1×10 4 | 7×10 4 | 1×10 5 | 3×10 4 | |||
| 氫2 | 1×10 3 | 3×10 3 | 6× 103 | 2×10 3 | |||
| 入口壓力*3 | 帕 | 133 | 40 | ||||
| 排氣口壓力*3 | 帕 | 270 | 270 | ||||
| 轉數 | 轉速 | 30300 | 27000 | 27600 | 24000 | ||
| 啟動時間 | 7分鐘內 | 11分鐘內 | 12分鐘內 | 18分鐘內 | |||
| 安裝方向 | 可全方位安裝 | ||||||
| 表面處理 | 鍍鎳 | ||||||
| 冷卻水 | 流量 | 升/分鐘 | 1～3 | 2～4 | |||
| 水壓力 | 兆帕G | 02～0.5 | |||||
| 噪音 | 分貝(A) | 60 | 57 | 60 | |||
| 大量的 | 公斤 | 39 | 42 | 70 | 84 | 105 | |
| 推薦輔助泵 | 600L/min以上 | 1300L/min以上 | 1500L/min以上 | ||||
| 控制器 | 作品 | 單獨放置 | |||||
| 輸入功率 | 單相AC200～240V±10%（50/60Hz±2Hz） | ||||||
| 所需功率 | 千伏安 | 1.0 | 1.5 | ||||
| 變速功能 | 運行速度可在泵速度的 25% 至 之間變化（以 0.1% 增量設置） | ||||||
| 外部控制 | 接點輸入/輸出 | ||||||
| RS-232C/RS-485 | |||||||
| 大量的 | 公斤 | 8 | |||||
上一篇： HL-80HL-80里氏硬度計