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本多W-357BM-1200超聲波清洗機(jī)[用于半導(dǎo)體行業(yè)

本多W-357BM-1200超聲波清洗機(jī)[用于半導(dǎo)體行業(yè)

特征

• 通過數(shù)字控制可以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的振蕩。

• 通過各種接口，可以根據(jù)清潔設(shè)備進(jìn)行控制。
  

• 超聲波輸出可以1W為增量進(jìn)行調(diào)節(jié)。

用途：

• 磁頭清潔

• 硅片清洗
  

• 藍(lán)寶石晶圓清洗

• 處理半導(dǎo)體器件后的清潔

• 硬盤清潔

振蕩器

模型		W-357BM-1200
振蕩方式		單頻振蕩
額定輸出		1200瓦
標(biāo)稱振蕩頻率		1兆赫
電源輸入		AC200V?240V  單相50 / 60Hz的2400VA
顯示		VFD（熒光顯像管）16個字符x 2行
國米 的臉	模擬量輸出	4-20mA電流輸出
	接點(diǎn)輸出	3點(diǎn)報警輸出，振動檢測輸出，電源接通輸出
	外置驅(qū)動器輸入	2點(diǎn)傳感器輸入，遠(yuǎn)程輸入
	RS485通訊	MODBUS（RTU）協(xié)議
外形尺寸		360（W）x 360（D）x 143（H）毫米　 （不包括突起，包括橡膠底腳）
大眾		7公斤

●可變輸出范圍：200W至1200W 
●電源線長度：3m 

　需要高頻設(shè)備許可申請通知

換能器單元

根據(jù)要求，我們還可生產(chǎn)規(guī)格為2.4 kW和3.6 kW的定制振蕩器單元，以及6英寸，8英寸和12英寸兼容單元。

F型｜

8寸晶片用振動板型　　　　　

模型	W-357BM-1200F
振蕩器型號	W-357BM-1200
允許輸入	1200瓦
標(biāo)稱驅(qū)動頻率	1兆赫
有效輻射面W x Dmm	272x154
外形尺寸 WxDxHmm （不包括 接線和管道）	355x245x68
材料	板：SUS316L表面電解拋光
大眾	7公斤

●工作液溫度范圍：5到85℃ 
●銑削機(jī)：特殊PZT 
●機(jī)械手線長：5m x 2 

S型｜

6英寸晶圓的槽型x 2

模型		W-357BM-1200S
振蕩器型號		W-357BM-1200
允許輸入		1200瓦
標(biāo)稱驅(qū)動頻率		1兆赫
有效輻射面W x Dmm		135x160 2個地方
尺寸  WxDxHmm  （不包括突起）	外型	496x336x372 （包括橡膠腳）
	在坦克	442x276x252
材料		儲罐：SUS316包裝：拜頓
排水閥		1/2英寸
大眾		18公斤

●工作液溫度范圍：5到85℃ 
●傳感器：特殊PZT 
●傳感器線長：5m x 2