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EBARA荏原ESP-7型壓力傳感器

■  特點

●由于使用了擴散型半導體傳感器，因此具有的可靠性和耐用性。

●受壓部使用SUS316L不銹鋼。

●即使在50kPa或更低的低壓下也具有的穩定性。

●除空氣，水，油等外，它還可用于多種測量。

●我們主要生產ESP-7型傳感器，并生產多種應用產品，例如隔膜型和衛生型，適合食品，化學藥品和制藥等各種應用。

壓力傳感器的內部結構

工作原理

■工作原理

流體壓力首先由不銹鋼隔膜1接收。

壓力通過封閉在內部的硅油（2）傳輸到擴散型半導體傳感器，而不會造成壓力損失。

在擴散型半導體壓力傳感器中，將硅基板⑥接合至玻璃臺架⑨，并且將其中央部蝕刻成薄的隔膜形狀。

傳遞的壓力使隔膜變形，并改變上部形成的壓電電阻計⑦。

壓電電阻計由小電流驅動，并通過焊線⑤輸出與壓力成比例的電信號。

電信號由內部電路板的放大電路部分放大，并作為由調節器調節的信號輸出，作為4至20 mA的電流輸出或1至5V的電壓輸出。

由于擴散型半導體壓力傳感器會因溫度變化而導致輸出變化較大，因此我們的壓力傳感器會根據其各自的特性進行溫度補償。 

傳感器內部結構

壓力單位對照表

SI單位/舊單位指南/壓力類型