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日本小野LV-2100A激光干涉位移計系統
產品型號:LV-2100A
產品品牌:日本小野ONOSOKKI
產品簡介: 日本小野LV-2100A激光干涉位移計系統 常規的振動位移檢測集中在從加速度(m/s 2)或速度(m / s)到位移的轉換。

日本小野LV-2100A激光干涉位移計系統

日本小野LV-2100A激光干涉位移計系統 

常規的振動位移檢測集中在從加速度(m / s 2)或速度(m / s)到位移的轉換。然而MEMS(微機電系統)或壓電元件的應用的致動器通常是那些表現為矩形的驅動和直流偏移,在位移轉換的正確位移測量通過在現有的加速度傳感器的積分處理和激光多普勒振動計這是不可能的。

激光干涉位移計LV-2100A是1兆赫處于卸載,非接觸取樣MEMS和壓電元件小和高速振動位移,高位移分辨率0.155納米,可以直接從DC檢測。激光光斑直徑小至φ1.5μm,空間分辨率高。

數字位移輸出的分辨率范圍相關分辨率沒有降低(與模擬輸出相比)。

各種硬件和軟件組,如FFT分析儀和“Oscope / Oscope Professional時間序列分析工具”,包括可選的位移分析軟件(LV-0930),支持更有效的測量和分析。


特點

位移分辨率0.155 nm隨著

振動頻率的增加,位移也會減小,因此難以用傳統的激光位移計進行測量。LV-2100A可以檢測0.155 nm分辨率的位移。


高達1 MHz的高速采樣


LV-2100A通過1 MHz的高速采樣檢測振蕩位移。利用0.155nm分辨率的性能,可以檢測待測量的寬物體從一般機械振動到MEMS和壓電元件的振蕩位移。


數據是模擬和數字輸出LV-2100A可以輸出

模擬電壓和數字數據的檢測數據。模擬位移輸出為DC - 100 kHz,數字位移輸出通過USB 2.0高速傳輸到PC。可以立即在PC上處理數字數據,而不受傳輸錯誤和阻抗的影響。


使用CCD相機輕松檢測微小物體


通過安裝可選的視頻觀察裝置(LV-0180),LV-2100A可以在檢查激光束同軸位置的照射位置的同時工作。這樣,可以將激光地定位和照射到小部件和小部件上。通過安裝可選的物鏡(LV-0155),可以增加觀察倍率并將激光光斑縮小到φ3μm。


豐富的數據分析工具,硬性和軟性


LV-2100A可以輸出所有位移數據作為數字數據。通過使用可選的位移分析軟件(LV-0930),LV-2100A檢測到的振動位移數據可以從疊加到大的位移到微小的位移進行測量。還可以通過將位移數據轉換為速度和加速度來進行分析。此外,時間序列分析工具選項“Oscope 2”可以進行各種分析,如FFT分析,速度,加速度轉換。結合FFT分析儀,我們還可以啟用豐富的多功能軟件,以數字方式處理微小位移并提取信號,直到數字處理振動位移波形和頻率分析。


*需要位移分析軟件“LV - 0930”才能在PC上接收數字數據。

※Oscope 2將以CSV格式導入。

傳感器單元

檢測解調方法通過光學外差檢測進行位移解調
光源He-Ne激光(波長632.8 nm)
退出燈輸出1 mW或更低(符合FDA 2的JISC 6802標準)
焦距100毫米?∞
測量范圍使用反光帶(LV-0012):使用±10 mm 
角隅棱鏡:±5 m
激光光斑直徑焦距100毫米,φ20微米或更小
鏡頭部分可在可設定范圍內任意設定手動設定
顯示單元●干擾電平指示:10段LED條
●檢測ERROR指示:紅色LED亮
主傳感器固定孔M8×1(Helisert強化)
輔助固定孔M4×2(Helisert強化)
信號線長度3米
(電纜彎曲半徑:50毫米或更小,電纜殼體::阻燃UL認證材料PVC黑色)
500克(不含電纜)


位移轉換單位

模擬輸出模擬輸出±10 V(輸入阻抗為100kΩ或更高)
截止頻率DC:DC至100 kHz(fc = -3 dB)
AC:0.3 Hz至100 kHz(fc = -3 dB)
線性±0.1%/ FS
模擬紋波2 mVp-p或更低
輸出阻抗50Ω(小輸入阻抗100kΩ或更高)
輸出端子BNC(二氧化碳型)
模擬位移范圍測量速度5.0米/秒(所有范圍)
范圍指示選擇范圍顯示7段LED
設定范圍范圍測量范圍模擬小分辨率數字分辨率0.1 mV±1μm0.15納米0.155nm1μm/ V.±10μm0.3納米5μm/ V.±50μm1.5納米10μm/ V.±100μm3納米100μm/ V.±1毫米30納米2毫米/ V.±20毫米618納米0.1米/伏±1.0米30微米0.5米/伏±5.0米154微米1米/ V.±10米309毫米
范圍超過顯示

紅色LED亮度超過100%

重置指示位移零重置操作·輸入時綠色LED亮起
采樣頻率模擬輸出:1 MHz固定
數字輸出:通過可變地位移分析軟件(LV-0930)
(1兆赫,500千赫,200千赫,100千赫,50千赫,20千赫,10千赫,5千赫,2千赫茲,1千赫,500赫茲,200赫茲, 100赫茲,50赫茲,20赫茲,10赫茲,5赫茲,2赫茲,1赫茲,0.5赫茲)
數字輸出USB Ver.2.0(全速)
連接器類型:迷你B型
EXT信號輸入

位移零重置信號輸入/ TRIG信號輸入
連接器類型:R03 - R5F

  • 外部復位信號:RESET操作,無電壓,觸點信號輸入/關閉

  • TRIG信號:TTL(+ 5V信號)*使用LV-0930時可用

引腳分配一外部復位信號輸入乙外部復位信號COM?TRIG信號輸入dTRIG信號COM?-
SYNCHRONOUS信號輸入/輸出

同步連接器(連接兩個時)

  • RESET信號

  • CLK信號

  • TRIG信號


激光單元

探測器靈敏度切換滑動開關3步切換
監視輸出
輸出干擾電平作為電壓輸出
模擬輸出:0至10 V 
輸出阻抗:50Ω或更小
輸出端子:BNC(CO 2型)
顯示單元●干擾電平指示:20段LED條
●激光狀態指示::激光輻射時綠色LED亮起
●ERROR指示:測量錯誤時紅色LED亮起
存儲傳感器可伸縮,電纜可重繞
安全鎖關閉激光光路(短路激光輻射),無電壓1a接觸輸入
使用的電源AC 100至240 V 50/60 Hz
功耗70 VA或更低
工作溫度范圍-5至+ 40°C
工作濕度范圍相對濕度為30%至80%(無結露)
儲存溫度范圍-10至+ 50°C
身體:12公斤(包括傳感器)
外部尺寸393(W)×222(D)×135(H)mm

符合性標準
本儀器根據以下標準進行設計和檢查。
“JIS C 6802(激光產品的輻射安全標準)” 
“IEC 60825-1:2007”“FDA(CDRH)” 
“FCC(第15 B部分)”“加拿大EMI法規(ICES - 003)”


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