本多超聲波半導體清洗機通過數字控制可以實現穩定的振蕩。各種接口允許根據清潔設備進行控制。超聲波輸出可以以 1W 為增量進行調整。磁頭清洗硅晶片清洗藍寶石晶片清洗半導體器件加工后清洗硬盤清洗。周圍環境:溫度:5~40℃ 濕度:5~80%(但無結露)
電源線長度:3m需要申請使用高頻設備許可的通知 1 MODBUS 是 Schneider Electric USA Inc. 的注冊商標。振蕩器單元我們還可以根據要求制造定制的振蕩器單元。
模型 | W-357BM-600 | W-357BM-1200 |
振蕩方式 | 單頻振蕩 |
額定輸出 | 600W | 1200W |
可變輸出范圍 | 100W ~ 600W | 200W ~ 1200W |
標稱振蕩頻率 | 1MHz |
電源輸入 | AC200V ~ 240V 單相 50 / 60Hz 1200VA | AC200V ~ 240V 單相 50 / 60Hz 2400VA |
展示 | VFD(真空熒光顯示器)16 個字符 x 2 行 |
界面 | 模擬輸出 | 4-20mA電流輸出 |
接點輸出 | 3點報警輸出、振蕩檢測輸出、電源ON輸出 |
外部驅動輸入 | 2點傳感器輸入,遠程輸入 |
RS485通訊 | MODBUS?協議,RTU模式*1 |
外形尺寸(不包括突出部分,包括橡膠腳) WxDxHmm | 220 x 360 x 143 | 360 x 360 x 143 |
大量的 | 5公斤 | 7公斤 |
最大允許輸入:600W / 1200W / 1800W / 2400W / 3000W / 3600W
? 兼容晶圓:6英寸/8英寸/12英寸
F型|隔膜型
模型 | W-357BM-600F | W-357BM-1200F |
振蕩器型號 | W-357BM-600 | W-357BM-1200 |
最大允許輸入 | 600W | 1200W |
額定驅動頻率 | 1MHz |
有效輻射面 W×Dmm | 135×160 | 272 x 154 |
外形尺寸 W x D x Hmm(不包括布線和管道) | 250×220×68 | 355 x 245 x 68 |
材料 | 板材:SUS316L 表面電解拋光 |
大量的 | 3.3公斤 | 7公斤 |
對應晶圓尺寸 | 6英寸 | 8英寸 |
振蕩器線長 | 5m | 5米×2 |
● 潤濕材料:振動盤:SUS316L
● 工作液溫度范圍:5-80℃
● 振蕩器:PZT
S型|坦克型
模型 | W-357BM-600S | W-357BM-1200S |
振蕩器型號 | W-357BM-600 | W-357BM-1200 |
最大允許輸入 | 600W | 1200W |
額定驅動頻率 | 1MHz |
有效輻射面 W×Dmm | 135×160 | 135 x 160 2 處 |
尺寸 W x D x Hmm (不包括突出部分) | 外形 | 302 x 296 x 372(包括橡膠腳墊) | 496 x 336 x 372(包括橡膠腳) |
在坦克 | 248×236×252 | 442×276×252 |
材料 | 油箱:SUS316L 包裝:拜騰、聚四氟乙烯 |
排水閥 | 1/2 英寸 |
大量的 | 11.6公斤 | 18公斤 |
對應晶圓尺寸 | 6英寸 | 6 英寸 x 2 |
振蕩器線長 | 5m | 5米×2 |
● 潤濕材料:振動盤,水箱:SUS316L 填料:PTFE 給排水管嘴:SUS304
●工作液溫度范圍:5-80℃
●振蕩器:PZT